第二卷 乘波揚帆
第630章 造不如買
但他太了解曲慧了。
蘇遠山沉默地聽著曲慧的介紹，終於明白了她的憂慮在哪。
從陣容上，這個團隊就已經堪稱豪華了。
蘇遠山便望向鄭振川，只見後者的表情已經變得苦澀了起來。
「呵呵，別激動。」鄭振川好整以暇地抿了一口茶：「怎麼樣，要不要來兩台？」
「磁懸浮？」曲慧聞言一怔，直愣愣地望著蘇遠山。
「現在國家上上下下都在講市場化，就算上面再支持我們，也不可能說強制下行政命令讓企業只買我們的光刻機吧？」
原因很簡單，機械設備領域，確實不如別人。
既然猜到了曲慧極有可能是在雙工件台技術上取得了突破，蘇遠山接下來可就真有點坐不住了。
「嗯……」蘇遠山聽到鄭振川這語氣，頓時心中多了幾分「警惕」起來。
「現在倒好，隨著國外解禁，國內企業又開始有錢了……再加上國家一直在推動無錫那邊的產業升級，成立了以華晶為首的半導體聯盟。旨在提高整個國內半導體行業的元器件自產率和製程升級……所以，我們在目前落後兩代的情況下，確實有點難搞。」
他這句話不是安慰人，而是真心這樣認為。
「這下可以說了吧，到底是什麼驚喜——別讓我猜啊。」
「……」鄭振川便帶著一臉哀怨地看著蘇遠山：「當初你說好要支持的呢？」
造不如買的思想沒變。
遠芯在光刻機，晶圓廠的戰略方向一直很明確，就是以保持製程和工藝的領先——換言之就是設備上不能落後。
那麼……既然都已經取得突破了，還有什麼麻煩？
所以，雙工件台名義上是首都精科一個企業搞的技術，但實際上，卻是一個由原首都精密儀器研究所，遠芯，志遠，清華這四方巨頭聯合進行的一次技術攻關。
嗯，主要是他現在難得遇到一篇不灌水的石墨烯論文。
好在一小時並不長，當他打開一篇最新的石墨烯領域的paper后，時間便迅m.hetubook.com.com速流逝起來。
「最多半年。」
「等等！」蘇遠山馬上便清醒過來：「別拿空頭支票來忽悠我，先說清楚，什麼時候可以可以出廠。」
「雙工件台的構想是根據華羅庚先生的統籌方法思想而來，原理就是把在曝光過程中處於等待狀態下的流程先走一步。實現一個工件台曝光，一邊進行測量對準等工作。等到曝光完畢，就可以不用再測量對準，從而直接就可以移動平台，然後曝光。」
「可是，那個難度怕是有點大吧？現在有沒有超精密的磁懸浮運動控制案例和方案？」鄭振川則想了想，遲疑地問道。
Cymer都已經搞出193的ArF了，正在想搞EUV或者F2呢。
「嗯，還真是。」鄭振川從剛才蘇遠山口中的磁懸浮工件台的設想中回過神來，笑著道：「我們拿到了蔡司的鏡頭和Cymer的KrF光源，接下來就能量產最低0.18微米工藝節點的光刻機了。」
很顯然，在這個時候，蔡司和Cymer突然對國產光刻機放行，除了有霓國同行的競爭之外，還有就是有把國內的光源和鏡頭技術「扼殺」在搖籃的想法。
「因為每個企業都有追求。」這時曲慧抬起頭，悠悠地來了一句。
所以鄭振川找蘇遠山，是沒找對門。
她不甘心。
這老爺子，語氣聽起來不對吶！
「根據我們的估計，在目前的工藝水平下，採用雙工件台除了可以提高30%以上的效率之外，還可以略微提高精度——別的不說，10%起碼有的。」
「其實就是工件台成了。」曲慧一副雲淡風輕的表情，端起茶杯吹了口氣后笑眯眯地道：「你猜到了是吧？」
而且蘇遠山還知道，ASML的初代雙工件台，其實效率並不十分高，只能說略有提升——就是因為控制系統不成熟。不然也不會直到浸沒式光刻機出來之後才正式宣判尼康和佳能死刑。
「我當然一直都是支持的，但這事兒我做不了主啊鄭叔。你不應該找我，而是應該去找德遠的張博士。」
「是啊……但這樣好歹能把咱們的光刻機與尼康佳能的距離縮到只有一代了，對吧？」
幾秒后，蘇遠山微笑著搖頭：「曲慧姐，其實你們已經很厲害了。」
……
「嗯？你說什麼方向。」
蘇遠山眼珠子一瞪，差點沒從沙發上彈起來：「怎麼拿到的？」
「嗯，是有不少時間了。」曲慧出乎意料地留了頭髮，還梳了個馬尾，脖子上圍著絲巾。她笑呵呵地坐到蘇遠山對面。
「麻煩在於，我們目前只能實現0.5微米的精度。」曲慧緊縮著眉，凝望著蘇遠山道：「而且，精度越高，摩擦係數和阻尼作用就越強。我有點擔心，它在未來能不能追上光刻機的步伐。」
鄭振川放下茶杯，沖蘇遠山樂道：「你先聽小曲的，等會我再說。」
光刻機自然要支持，甚至還要大力支持。但錢可以出，在有選擇的情況下，買一堆落後的產品，這事兒卻是不能幹的。
「不過鄭叔，我們已經預定了尼康最先進的DUV光刻機，他們的節點可是能夠到65納米。」蘇遠山一聳肩，呵呵笑道：「差不多半年。」
「鄭叔，慧姐，好久不見。」蘇遠山早已在客座沙發旁等著，就連茶都已經準備好了。
「而且……我們的光刻機……確實，我承認，穩定性比起國外同行差了一點。但我們起步晚，這是很正常的，總要給我們一點時間進步和完善，對吧？」
「我給你坦白吧，目前首精上下普遍都很振奮——我雖然也高興，也知道不能潑冷水。但如果工件台無法用在最先進的光刻機上，那它的意義就少了許多。」
不過他依舊不動聲色，整個人放鬆了姿勢：「曲慧姐，你說，工件台到底怎麼樣了。」
「不是磁懸浮能用在工件台上，而是工件台要擺脫摩擦和阻hｅtｕｂooｋ.cｏｍ•ｃoｍ尼的桎梏，實現超精密運動控制，在現有的自然科學和機械空城的框架下，就只有磁懸浮這一條路。」
說白了，就是曲慧所參与，所看到的，全是世界頂級的技術成果。
——事實上，造不如買不僅僅是一種思想，而是一個持續在整個工業化進程中的現象。
「鄭叔，怎麼說？」蘇遠山起身給鄭振川斟滿茶水，笑呵呵地問道：「你別告訴，你是來推銷光刻機的。」
「在那些人眼裡，晶圓廠就是印鈔廠，光刻機就是印鈔機，就算再貴，只要夠先進，能穩定運行，那印到後面就是印的鈔票。」
雙工件台的構思說白了，就如曲慧所說的那樣，源自華羅庚老先生的統籌方法——就是在等待燒開水的過程中就把茶杯洗乾淨，茶葉拿出來丟進杯子里，順便還擰著暖水壺在一旁等著，只要水開，馬上就能泡茶，裝水，一氣呵成。比等水開了再去找茶葉洗茶杯要節約很多時間。
……
「這樣，曲慧姐，我給你指一條方向。」蘇遠山不知道雙工件台技術接下來要具體往哪一邊走，但蘇遠山卻知道雙工件台的未來在何方。
要知道，他們給的光源和鏡頭，可不是最先進的……
雖然他很少直接去首都精科那邊，但各種支持從來都是不遺餘力的。要什麼協助給什麼協助，就算要機床，他也在前年的時候費盡周折地搞了一台。
「成了，但有點麻煩。」曲慧知道蘇遠山對光刻機傾注的心血不比晶圓廠少，此刻也不開玩笑，正色了起來：「你知道的，制約國產光刻機精度的最大敵人就是精度。」
靜靜地聽鄭振川說完，蘇遠山意識到，歷史的走向已經完全改變了。
哪怕它再貴，穩定性和效率依舊壓倒一切。
至於為什麼曲慧會在取得如此的成果后依舊保持冷靜乃至憂慮……蘇遠山完全能夠理解。
「現在無錫那邊，已經有人在詆毀說咱們的光刻機這不行，那不行……還不如多花點錢買ASｍ.hｅｔuｂｏok•ｃｏｍ.comML和尼康佳能。」
蘇遠山聽得眉毛一揚！
他哪怕對雙工件台的設計和原理再不懂，他也知道，實現雙工件台最困難的地方便是運動定位系統，是真正的「牽一髮動全身」「差之毫厘，謬之千里」。
但真要實現起來卻不簡單，畢竟這是兩個工件台的協同配合，而且要保持高速運動下的0.5微米的運動精度——其難度相當於在兩架並肩飛行的飛機上，其中一架飛機伸出一根杆子，在對面的機身上刻0.5微米大小的字。
「那麻煩在哪？」
見曲慧這模樣，蘇遠山也在心裏暗暗發笑——曲慧別看已經三十歲了，可長期以來身處科研一線，身份身家都無與倫比，以至於心態還是小姑娘心態。
有了新方向的曲慧再無心交談，轉而去蘇遠山的書架翻了一本物理書來看。
「精度的最大問題又會最終落在電機控制，材料，加工精度上。」曲慧抿著嘴，慢慢道。
說著蘇遠山便疑惑起來：「不對，鄭叔……無錫那麼多晶圓廠，為什麼你不去找他們？」
鄭振川也驚訝起來：「小山，磁懸浮能用在工件台上？」
工欲善其事，必先利其器。
「你和鄭叔一起過來，不是光刻機的事還能是啥？」蘇遠山一攤手，笑道：「讓我乾等了一個小時，再驚的喜也給整沒了。」
蘇遠山再次點頭：「然後呢？」
「我能想到的唯一方向。」蘇遠山鄭重點頭。
一小時后，曲慧與鄭振川如約而至。
國家也認同遠芯的發展，因此從來把希望寄托在遠芯身上，繼而讓華晶，華鑫，首晶等新老國有控股的晶圓廠大力採購國產光刻機，用以扶持。
這姐妹兒，幹練豪爽不說，還古靈精怪……既然打定主意要給自己兜圈子，那自己怎麼問都是沒個結果的。
「我靠！」
「不知道，但管他呢！」曲慧吸了口氣，整個人瞬間振奮了起來，望向蘇遠山道：「小山，你真覺得那是個方向？」
程序設計可以叫囂「只有想不到，wｗw.ｈｅｔｕboｏｋ•ｃom.coｍ沒有做不到」，但機械設計還真是，你能想到，但基本上辦不到。
曲慧沉默數秒后慢慢點頭，喃喃道：「是了，磁懸浮技術可以最大作用地發揮我們的運動控制模塊的優勢，避開短板。」
「我們這次取得的突破，是在運動定位模塊和流程式控制制系統上。」
……
「不知道，估計是在天駒那邊吧。今天德儀那邊剛好有人過來，她去接待一下。」蘇遠山頓了頓，望向鄭振川：「鄭叔，別告訴我，你們已經將工件台用在光刻機上了。」
雙工件台雖然出來了，卻無法給國產光刻機帶來本質上的技術飛躍。
「還有一點，我們目前的工業基礎，只能允許我們做到這個極限。」
要知道，搞機械，特別是精密機械，它不比搞程序設計。
「目前工件台的最大難點還是在於高速運動下所導致的一系列麻煩，所以……如果要把目光瞄準到十年，二十年之後，瞄準到納米級精度的話，我認為，只有一條路，就是磁懸浮。」
蘇遠山點頭：「嗯，不用你說，我就算再不懂機械也知道。」
聽到這個半年，蘇遠山又默默地算了一下自家光源的時間，這才慢慢平靜下來，笑著罵了一句：「NND，帝國主義亡我之心不死。」
雙工件台技術真正的成熟，還必須等到磁懸浮技術誕生。只有那樣，才能把誤差縮短到極限。
「嗯，這倒是。」
鄭振川沉默幾秒后，發出了一聲輕嘆：「國外同行在今年開了不少口子，國內的晶圓廠，只要有錢，基本上都能買到KrF的光刻機……」
因為曲慧剛出校門就進入了遠芯，親自參加了EDA的誕生，又親眼見證了遠芯在各個領域的崛起。
蘇遠山含笑望著鄭振川，突然越看越覺得這老頭有點像「買辦」了。
感情這次不是單純的「報喜」，似乎還有套等著自己。
但一切的前提還是控制系統。
「哈哈，當然沒有。」
「害！我就應該給周小慧偷偷打個電話問一下的——對了，周小慧呢？」