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三年！

如果鄭振川和林本堅的團隊一同協作，一開始就直奔浸潤式DUV的研發，那麼或許最多三到五年……鴻芯就能推出世界上第一台浸潤式DUV光刻機。

面對眾人疑惑的眼神，蘇遠山輕輕地吸了口氣。

目前，獲得了來自飛利浦和intel大力支援的ASML，雖然還是在製造Krf光刻機，但他們光刻機的穩定性就大大超過了尼康佳能，一條生產線的稼動率甚至可以長期穩定在90%以上。

「不，林，趙團隊沒有解決光源，但他們有解決波長的方案。可以實現超越193nm的效果。」蘇遠山看著曲慧和沈浩然，解釋道：「如果鄭叔這邊和那邊直接配合啟動該方案的光刻機的研發，那麼……或許鴻芯就可能是第一家率先打破193nm的光刻機企業。」

鄭振川摸著頭髮，一邊笑一邊搖頭：「其實不用你說一年，我們目前的產能大概也只能滿足德遠和華晶的需求，要到一年之後才能接海外訂單。」和-圖-書

而國內，則壓根沒有那個精力去搞。

至於鴻芯這邊，根據統計，平均的稼動率是在70%到80%左右浮動，和尼康佳能差不多，還稍遜一點。

眾人便哈哈大笑起來。

現在蘇遠山說的不是直接搞光源，而是直接搞光刻機……

「嗯，沒事。只要稼動率能夠上去，今後就算等，我們也要等到你們拿出Arf來！」

長期以來，國內都是被「封鎖」的目標和對象。遠的八筒不說了，近的WA還有無數條款列著呢……西方那邊，是出現一門新技術，就加一條。然後國內跟上一門，就減一條。生怕欺負你欺負得不夠完美。

「就是，我們不談禁售，全面開放，按照訂單來。但實際上，國外訂單要排到一年之後。」

「……當然不是！」蘇遠山給嚇了一跳：「鄭叔別嚇我，SYD那邊是我們搶佔DRAM顆粒的關鍵布局。就指望著在這兩年把產能拉上去，兩年後來個大爆發呢……」

國外https://www.hetubook.com.com同行們是什麼表情，蘇遠山現在看不到，但他能猜到。

但蘇遠山現在說到直接就進行光刻機的研究……

「我希望你們直接就與林，趙團隊合作，直接跳過單純的Arf光刻機……或者說，直接協同研發跨越193nm的光刻機！」

這……是不是走得太快了一點？

最優秀的光刻機，稼動率能夠到90%，但最差的，或許就只有50，60%。

「小山，你的意思是林博士他們解決了下一代光源了？」曲慧由於長年累月呆在鴻芯這邊，早已經對光刻機技術和發展了如指掌，知道目前國內雖然由趙凱東那邊實現了Arf光源的突破，但Arf在國外可是好幾年前就已經突破了……而且人家早就意識到了193nm的Arf激光將會是光刻機發展的一個重要節點——這也是國產光刻機追上世界的重要機會。

「而一旦我們有了話語權，我們再來拉著他們開展對下一代光源、譬如EUheｔｕboｏk.ｃom•ｃｏｍV的研究……那麼主動權就在我們手裡了。」

之所以讓鄭振川直接就上馬浸潤式光刻機，自然還是因為他對林本堅有著絕對的信心。

「只有慢慢來，我們現在只有盡量優化工藝流程，提高零部件標準，然後再細細打磨技術。」蘇遠山這邊提到稼動率，鄭振川也一陣煩惱。雙工件台是好，但如果無法通過長時間的流水線生產的驗證，那也僅僅只是彌補缺陷罷了。

想到2003年，自己就能拿到可以賣20年都不會落伍的DUV，蘇遠山就感覺到有點燥熱起來。

「而且這期間，還需要你們和華晶多多協助，多多支持。」

辦公室里眾人都是和八筒以及WA做過「鬥智斗勇」的人，自然知道被封鎖的滋味是什麼，在一陣笑聲中，鄭振川望向蘇遠山：「小山，你說的有條件一年禁售期是什麼意思？」

但人家意識得早，就意味著布局得早。尼康早就拉了一幫人在搞157nm的F2準分子光源不說，老美那邊更是牛逼m.hetubook.com.com，國家能源局親自下場，組建了一支豪華的陣容直接瞄準了最低可到10nm波長的極紫外光源EUV。

他話音落下，這邊曲慧和沈浩然馬上便是一驚！

光刻機不是流水線產品，想做到每一台的效率和穩定性都達到最高，顯然是不可能的。但問題就在於，尼康的光刻機，同型號的差異實在有點大。

那該是多麼偉大的一次超越啊……

尼康佳能的光刻機，目前雖然在光源以及解決方案上跑得很快，已經完成了ArF光刻機，也就是DUV光刻機的研製。但買他們兩家的光刻機，真的有時候要看運氣。

「到時候，別說ASML之流，就算尼康佳能，他們也只能跪地求饒。」

那麼這就意味著，浸潤式方案，也會如同前世一樣，或許兩年就能搞出來——把時間再算浮一點，那也就是三年！

「國外訂單，也包括棒國那邊SYD的訂單？」鄭振川笑吟吟地問道。

稼動率，是工業製造中的一個名詞，可以簡單理解為某個設備在所能提供的時m.hetubook.com.com間內為了創造價值而佔用的時間所佔的比重。

林本堅是工程師，而且還是那種按部就班的、極為老派和嚴謹的工程師。他既然能提出浸潤式方案，那腦海中就必定有一個大體的解決方案。

現在，猛地出現了反過來封鎖的技術……也不知道要驚掉多少人的下巴。

所以，鄭振川也疑惑地望向蘇遠山。

而蘇遠山上次從HK回來時就路過了滬市，專門去看了林本堅羅列出的一個個要解決的技術問題和難點。按照蘇遠山對機械工程和光學的淺薄認識來看，這些技術，都不是超越現代機械工程的技術。

好傢夥，意思就是那邊的團隊搞定了光源？

當然，鄭振川不向曲慧他們這樣一驚一乍的，作為鴻芯的負責人，他自然知道林本堅他們的方案，並且自己這邊也給出了合作計劃。

「嗯，沒事。」蘇遠山點點頭：「工藝打磨可以慢慢來。我們本身就落後幾十年，現在是強行追上來的，有缺陷和不穩定很正常，慢慢吸取教訓，慢慢進步就是了。但……研發不能慢下來。」